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Z1軸（檢出器）測量范圍

60 mm(水平狀態±30mm)

Z1軸（檢出器）測長單元

RT檢出器

Z1軸（檢出器）分辨力

0.04μm

直線度（X軸水平姿勢）

0.8μm/100 mm　

指示精度

X1 軸

±（0.8＋0.01L）μm L為驅動長度（mm）

寬范圍：1.8μm/100mm   窄范圍：1.05μm/25mm

（20℃）

Z1軸（檢出器）

±（1.2＋｜2H｜/100）μm

H：基于水平位置的測量高度（mm）

測針垂直動作

弧形移動

測量方向

推/拉方向

測量面方向

向上/ 向下

測力

30 mN

跟蹤角度

單切面測針SPH-71:

爬升角77°/下降角83°（依表面粗糙度而定）

測針針尖

單切面測針SPH-71:

角度12° 半徑25 μm  硬質合金

行程限制功能

范圍：-29mm~+29mm

定位精度范圍：±1mm

X軸測量范圍

100 mm

測長單元

X軸

STVC-10Z

Z2 軸（立柱）

ABSOLUTE 線性編碼器

分辨力

X軸

0.05 μm

Z2 軸（立柱）

1 μm

X1 軸傾角范圍

±45°

Z2軸（立柱）移動范圍

500mm

驅動速度

X1 軸

程控：0～80 mm/s   JOY操作：0～40 mm/s

Z2 軸（立柱）

程控：0～30 mm/s   JOY操作：0～30 mm/s

測量速度

0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s※

檢出器交換

配有熱插拔功能：無需關閉控制器。

（輪廓檢出器需要初始化）

配有免工具 安裝/拆卸 機構（指旋器鎖緊桿）

基座尺寸

600×450 mm

基座材料

花崗巖

外部尺寸：（W*D*H）

主機

759×482×1166 mm

控制器

221×346×472 mm

操作盒

248×102×62 mm

質量

主機

150 kg

控制器

14 kg

遙控箱

0.9 kg

精度保證范圍

19～21 ℃

精度保證溫度梯度

2 ℃/8h

使用溫度范圍

5～40℃（校正與測量的溫度范圍波動在±1℃以內）

使用濕度范圍

20～80 %RH　無凝結

保存溫度范圍

-10～50 ℃

保存濕度范圍

5～90 %RH　無凝結

通訊接口

USB

電源

100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz

噪聲檢測

A計全聲壓級：不超過70 dB(A)

消耗功率

400 W

包裝尺寸（W×D×H）

1000×750×1500mm

毛重

185kg

貨號

品名

備注

數量

355270

防塵罩

1

352637

潤滑油

Z2 軸 (立柱)

1

538613

六角扳手　公稱值1.5

用于安裝輪廓測針

1

538614

六角扳手　公稱值2

用原裝粗糙度測針

1

——

運輸固定夾具

1套

12AAE675

配置盤

1

472730

保證書(大)

1

——

檢查成績書

1

12AAU499

本體控制器通訊電纜

1

12AAF187

鏈接電纜（USB）

1

12AAD806

CV電纜

1

12AAM101

直測臂AB-31

1

354884

單切片測針　SPH-71

1

546-113

壓力表　DTG-10N

1

12BAL534

配重 1

1

12BAL535

配重 2

1

12BAL536

配重 3

1

355148

配重固定螺釘

1

12AAN047

保護臂

1

537976

吊掛螺栓

4

535002

蓋帽

4

12BAE998

保險絲 （已安裝1個）

φ5×20mm　250V　5A

2

12BAE997

保險管架

1

12BAM773

教學工件

1

12AAQ488

校正規（mm）

1

611676-021

量塊　60 mm　等級0

1

611671-021

量塊　10 mm　等級0

1

99MBB744A

用戶手冊

英文

1

99MBB745A

基本操作指南

英文

1

99MBB746A

如何使用介紹

英文

1

99MBB747M

安全標簽粘貼手冊

英文

1

02ZAA216

電擊警告標簽

1

02ZAA217

機器移動警告標簽

1

DC019-0305

CE 誓約書

1